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1、工作条件
（1） 环境温度： 0 - 40℃；
（2） 相对湿度： 20-50%；
（3）适用电源规格：380V ( AC )，50Hz；
2、技术参数
pecvd等离子体增强化学气相沉积设备重要由真空室、反映源、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成；
技术指标：
（1）极限真空：5X10-5Pa
（2）真空室尺寸 直径400mm高350mm前开门结构 漏率8*10-8Pa/l/s。
（3）★射频电源
输出频率： 13.56MHz(±0.1%)；可以输出功率：600W。
负载匹配调谐方式： 自动跟踪调谐;
调谐电容出现方式： 主机数字展示电容位置;
控制精度： 0.5% （恒功率控制）。
（4）真空计 复合真空计(1高1低)测量范围 大气-1*10-5Pa。
（5）系统操作，能控制旋转基片加热台的温度、样品台的旋转、样品挡板的开
启；分子泵、机械泵及电磁阀门的开启；加热烘烤及照明。
（6）相序保护系统 380V相序保护器(相序.缺相保护)。
（7）Pecvd响应源 方式;喷淋式 尺寸;6英寸。
（8）样品台；室温-800度 输入220V 输出0-36V。
（9）4路质量流量计 精确度1% , 线性±1% ,工作压差0.1-0.5MPa。
（10）★陶瓷薄膜电容变送器(压力薄膜规)压力范围0-100kPa。
（11）机械泵 抽速不小于8L/s极限压力小于3Pa；
（12）★分子泵 品牌 抽速600L/s 安装接口CF150转速24000转/min
极限压力6*10-7 。
（13）★罗茨泵 抽速30L/s 极限压力0.06Pa 电机功率0.75KW。
（14）旁抽阀 采用角阀 碟阀。
（15）插板阀CF150金属密封。
（16）水冷循环机 制冷量大于1500W。
